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流量传感器

F1013微流量传感器

F1013微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测,具有很好的精度与重复性。内置有温度传感器,每只都进行专有的温度补偿校准;同时具有线性模拟电压输出,方便使用。
产品详情

主要应用:

工业过程控制、空气和环境保护、便携式呼吸机。

产品特点:

最新一代 MEMS 传感器芯片技术、精度高,响应速度快,重复性好、经过完全校准和温度补偿。

技术指标:




产品型号F1013
量程①50、100、200、500、1000、2000sccm②

MIN典型值MAX单位
满量程输出4.905.005.10V
零流量输出0.961.001.04V
输出阻抗-200-Ω
工作电压7.010.014.0V
工作电流152530MA
精度-±1.5±2.5%F.S
重复性-±0.3±0.5%F.S
年漂移③-±0.1±0.5%F.S
耐压--200kPa
反应时间455055ms
工作温度④-25-65
储存温度-40-90

注:
①可提供50sccm-2000sccm之间任意量程定制。
②sccm:standard-state cubic centimeter per minute,意义为标况毫升每分钟,标况规定为:气体温度0℃ ;气压101.325 kPa;
③测试条件为室温、清洁空气。
④温度补偿实校范围为0℃-50℃,超过此范围温度补偿效果不能保证。



产品尺寸:

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