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MEMS热式气体流量传感器及其选型

作者:炜盛科技2023-06-28本文网址:www.wssensor.cn/index.php/hangyezixun/390.html浏览:

热式气体流量传感器简介


热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器,利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。


流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成,热偶堆对称分布在加热电阻的上、下游,加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。


加热电阻对热偶堆的热结进行加热,热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压。当流体静止时

加热电阻两侧对称位置的温度是相同的;当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜,加热电阻两侧对称位置的温度不再相同,温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定 。

由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关,因此传感器可以直接测出流体质量流量。


热式气体流量传感器特点及应用


热式气体流量传感器利用比较简单的构造来准确地测量气体的质量流量,具有结构简单、压损小、量程范围宽等优点,在工业过程控制、医疗设备、便携式仪器、环境监测设备等领域有着广泛的应用。



  • 新一代MEMS传感器芯片技术

  • 精度高,响应速度快,重复性好

  • 可精确测量极小流量

  • 经过完全校准和温度补偿



热式气体流量传感器选型


型号

FR03

FR03H

产品图

常规量程(SLM)

0.1/0.2/0.3/0.5

1/2/3/4/5

通径

DN3

输出方式

线性1-5V/0.5-4.5V

线性1-5V/0.5-4.5V或数字IIC

工作电压

DC5V-14V

精度

±(2±0.5FS)%

工作压力

可定制

≤200Kpa

工作温度

0℃~50℃

储存温度

-20℃~80℃

测量介质

干燥洁净的非腐蚀性气体

电气接口

2.54mm-5P插针或PH2.0-5P端子(可选)

机械接口

/

ISO3mm

型号

FR06

FR15

产品图

常规量程(SLM)

10/15/20

0-300

通径

DN6

DN15

输出方式

线性1-5V/0.5-4.5v或数字IIC

线性模拟电压和数字IIC

工作电压

DC5V-14V

精度

±(2±0.5FS)%

0-9SLM  ±0.5SLM

9-300SLM  ±2.5%FS

工作压力

可定制

/

工作温度

0℃~50℃

5℃~60℃

储存温度

-20℃~80℃

测量介质

干燥洁净的非腐蚀性气体

电气接口

2.54mm-5P插针或PH2.0-5P端子(可选)

Molex 87832-1010

机械接口

φ6-G1/8气动插头

/

型号

FR20

F1012

产品图

常规量程(SLM)

150/200/300

0.03/0.05/

0.1/0.2/0.3/0.5/1

通径

DN20

DN3

输出方式

线性1-5V/0.5-4.5V或数字IIC

线性1-5V/0.5-4.5V

工作电压

DC5V-14V

DC7V-14V

精度

±(2±0.5FS)%

±2.5%FS

工作压力

≤200KPa

工作温度

0℃~50℃

储存温度

-20℃~80℃

测量介质

干燥洁净的非腐蚀性气体

电气接口

PH2.0-5P端子

2.54mm-5P插针

机械接口

ISO20mm

ISO3mm

型号

F1031

F1031V

产品图

常规量程(SLM)

50/100/150/200/300

100/150/200/300

通径

DN20

输出方式

线性1-5V/0.5-4.5V

线性0.5-4.5V

工作电压

DC7V-14V

DC5V-14V

精度

±2.5%FS

±4%FS

工作压力

≤200KPa

工作温度

0℃~50℃

储存温度

-20℃~80℃

测量介质

干燥洁净的非腐蚀性气体

电气接口

PH2.0-5P端子

机械接口

ISO20mm


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