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基于MEMS技术的流量传感器及其应用

作者:炜盛科技2023-05-16本文网址:www.wssensor.cn/index.php/yingyongjiejuefangan/371.html浏览:

温度、压力、流量是工业中3大检测参数,其中,流量测量有很长的历史。


近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向发展,微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向。


MEMS热式流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器,利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。


流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成,热偶堆对称的分布在加热电阻的上、下游,加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。



当流体静止时,加热电阻两侧对称位置的温度是相同的,当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜,加热电阻两侧对称位置的温度不再相同,温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关,因此传感器可以直接测出流体质量流量。


炜盛科技自主研发的微流量传感器于2012年即成功面世并取得相关专利,同时我们还参与起草了《JB/T 13111-2017 热式质量流量传感器》的行业标准。


2022年,在原有的MEMS热式微流量传感器基础上,炜盛科技升级推出FR03/FR03H/FR06/FR20新款流量传感器,采用低压损设计,广泛用于各类气体流量测量。



产品

特点


❖高灵敏度、高精度、低压损

❖极低始动流量

❖高测量重复性

❖模块化设计

❖可用于各类产品定制




微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测,具有很好的精度与重复性。在工业生产、科学实验、产品质量把控、生产效率提高、能源节约等方面发挥着重要作用。

医疗领域


流量传感器在医疗领域,如:医院病床供氧、楼层管道供氧以及呼吸机、制氧机、麻醉机中有广泛的应用。




仪器仪表


在仪器仪表领域,原子分光光度计、气相色谱、气密检漏仪、风速计等设备中,也会用到流量传感器。

其他领域


流量传感器在空气采样器、打火机自动调火设备这类工业过程控制、空气和环境保护领域也有应用。




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